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德国NanoFocus μsprint全自动晶元检测系统
产品介绍:
μsprint全自动晶元检测系统是专门为半导体产业的bump检测而设计。zui大能够自动检测八寸晶元。wafer inspection,bump的高度、直径、体积、形状以及平面度都能得到纳米级精度的量测。